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第60节 (3 / 9)_

        罗佳点了点头,开始快速在巨大的白板上书写,直接就是一道复杂的dnq曝光机理公式。

        “目前全球在使用的光刻胶,无论哪一个等级,全部分为正性和负性,负性肉桂酸聚酯,正性氮萘醌加甲酚线性酚醛树脂。”

        “机理如下,未曝光区域,dnq与酚醛树脂通过偶联反应形成一体,曝光部分,dnq吸收能量引起光化反应,转变为可以溶于显影液的物质,而未经感光部分不溶于显影液。”

        不愧是公司两颗最强的大脑,罗佳刚开了一个头,安然马上明白了他的意思,站起来,在另外一块白板上以更快的速度书写。

        “但是问题在于,现在使用的紫外光刻,波长193nm,而下一代极紫外光刻,也就是euv,波长仅有13.5nm,缩短了14.2962863倍,我们不得不再原配方基础上,增加氧化金属,以加强感光性能,改性之后的第六等级光刻胶,虽然可以满足极紫外光蚀刻,但同时带来良品率下降的问题,也就是说,光栅成型的几率大大降低了。”

        “罗总,你既然提出这个问题,恐怕是想到新的改性方案了吧?”安然说。

        “不错。”

        罗佳点头,又在白板上写下一长串更复杂的公式。

        “这就是我想到的改性方案,一种新的合成高分子感光聚合材料,用来替代沿用多年的感光酚醛树脂...”

        ......

        公司开启头脑风暴的时候,除了会议室里的人,其他人也在内部网络看直播。

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